发明名称 Mask frame assembly for thin film deposition and the assembling method thereof
摘要 <p>복수개의 스트라이프형 마스크가 채용되는 마스크 프레임 조립체가 개시된다. 개시된 마스크 프레임 조립체는 개구부가 형성된 프레임과, 증착용 패턴을 구비하며 프레임에 양단부가 고정되어 증착용 패턴이 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 마스크 및, 복수의 마스크들과 인접하여 나란하게 배치되도록 프레임에 양단부가 고정되며 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱을 포함한다. 이러한 구조에 의하면 마스크들의 인장 특성 산포에 따른 프레임의 카운터포스와 마스크의 인장력 간의 힘의 불균형을 밸런스스틱으로 보상할 수 있게 된다. 따라서 패턴의 정밀도가 향상된다.</p>
申请公布号 KR101174879(B1) 申请公布日期 2012.08.17
申请号 KR20100021010 申请日期 2010.03.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;H01L51/56 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
地址