| 摘要 |
<p>본 발명은 LED 에피웨이퍼 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 수십초 이내의 단시간에 에피웨이퍼의 PL 특성을 검사할 수 있는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치 및 그 방법을 제공한다. 이를 위한 본 발명은 검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 제1광 및 제2광을 조사하는 조명부, 상기 조사된 광에 의해 상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 획득하는 촬영부, 상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 방출광 중 미리 설정된 파장 대역의 광을 통과시키는 필터부 및 상기 획득된 영상으로부터 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역에서의 상기 제1광 및 제2광에 대한 각각의 PL세기를 산출하고, 상기 제1광에 대한 상기 PL의 세기를 상기 제2광에 대한 상기 PL의 세기로 나눈 값인 PL세기의 비에 대한 영상을 생성하는 영상처리부를 포함하며, 상기 제1광은 상기 제2광보다 10배이상 세기가 큰 것임을 특징으로 한다.</p> |
