发明名称 DEVICE FOR MEASURING SHAPE OF INSPECTED SURFACE AND PROGRAM FOR CALCULATING SHAPE OF INSPECTED SURFACE
摘要
申请公布号 KR20120091352(A) 申请公布日期 2012.08.17
申请号 KR20127015003 申请日期 2009.11.19
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 YAMAZOE KENJI
分类号 G01B11/24;G01B9/02 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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