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发明名称
DEVICE FOR MEASURING SHAPE OF INSPECTED SURFACE AND PROGRAM FOR CALCULATING SHAPE OF INSPECTED SURFACE
摘要
申请公布号
KR20120091352(A)
申请公布日期
2012.08.17
申请号
KR20127015003
申请日期
2009.11.19
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
YAMAZOE KENJI
分类号
G01B11/24;G01B9/02
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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