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Bewertungsmethode für polykristallines Silizium, welches als Ausgangsmaterial für das Ziehen von Siliziumeinkristallen verwendet wird, umfassend die Schritte: Eintauchen einer vorbestimmten Menge des polykristallinen Siliziums in Klumpen- oder Pelletform in eine vorbestimmte Menge eines in einem Ätzbehälter befindlichen Lösungsmittels, in welchem polykristallines Silizium löslich ist, wobei wenigstens ein Teil des polykristallinen Siliziums an dessen Oberfläche im Lösungsmittel gelöst wird, Entnahme des polykristallinen Siliziums aus dem Lösungsmittel im Ätzbehälter, Entnehmen eines Teiles des Lösungsmittels aus dem Ätzbehälter als Probe, Belassen der entnommenen Teilprobe während einer bestimmten Zeitspanne in einem Probenbehälter, sodass alle in der Probe enthaltenen Siliziumpartikel im Lösungsmittel gelöst werden, und Verwenden eines Partikelzählers zum Zählen der Anzahl von Fremdpartikeln, die im Lösungsmittel dispergiert sind, um die Qualität des polykristallinen Siliziums auf der Basis der gezählten Fremdpartikel zu ermitteln.
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