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发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE112010001934(A5) 申请公布日期 2012.08.16
申请号 DE201011001934T 申请日期 2010.05.17
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 CIMALLA, VOLKER;LEBEDEV, VADIM
分类号 H01L21/335;H01L21/822;H01L29/06 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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