Heterostruktur-Pufferschicht für Heterostruktur-Feldeffekttransistoren
摘要
Die Erfindung betrifft einen Heterostruktur-Feldeffekttransistor (HFET) mit einem Substrat (201), einer auf dem Substrat (201) angeordneten Nukleationsschicht (202), einer auf der Nukleationsschicht (202) angeordneten kohlenstoffdotierten GaN-Schicht (203), einer auf der kohlenstoffdotierten GaN-Schicht (203) angeordneten ersten AlGaN-Schicht (204) und auf der ersten AlGaN-Schicht (204) angeordneten Source-Elektrode (205), einer auf der ersten AlGaN-Schicht (204) angeordneten Drain-Elektrode (206) und einer zwischen der Source-Elektrode (205) und der Drain-Elektrode (206) auf der ersten AlGaN-Schicht (204) angeordneten Gate-Elektrode (207). Erfindungsgemäß ist zwischen der kohlenstoffdotierten GaN-Schicht (203) und der ersten AlGaN-Schicht (204) eine unintentionally-doped GaN-Schicht vorgesehen. Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines solchen HFETs.
申请公布号
DE102011004080(A1)
申请公布日期
2012.08.16
申请号
DE201110004080
申请日期
2011.02.14
申请人
FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V.
发明人
WUERFL, HANS-JOACHIM;HILT, OLIVER, DR.;WEYERS, MARKUS;BRUNNER, FRANK, DR.;BAHAT-TREIDEL, ELDAD;CHO, EUNJUNG, DR.