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<p>도포장치로서, 액체를 토출하는 노즐 구멍을 갖는 토출부를 지지대에 대해 제 1 방향으로 이동시키고, 지지대에 탑재된 기판의 도포대상영역에 액체를 도포하며, 토출부가 제 1 방향으로 이동하는 사이의 토출부의 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로의 변위량을 검출하고, 토출부를 지지대에 대해 제 1 방향으로 이동시키고 있는 동안에 걸쳐, 변위량을 부정하는 방향으로 토출부와 지지대의 어느 한 쪽을 이동시키는 것으로 변위를 억제한다.</p> |
