处理硬盘驱动器基板的腔室

摘要

本发明公开一种用以在磁性存储基板中形成磁性图案的设备。腔室包含：界定内部空间的腔室壁；在所述腔室的所述内部空间中的基板支座；在所述腔室的面对所述基板支座的壁区域中设置的气体散布器；用以将提供至所述腔室的工艺气体的一部分离子化的小型能量源；及具有z致动的闸部件的节流阀，所述闸部件具有用以覆盖所述腔室的出口埠的密封表面。离子通过电偏压被加速朝向所述基板支座，所述电偏压放大所述工艺气体的离子密度。通过所述离子轰击在所述基板支座上设置的基板以改变基板表面的磁性性质。

主权项

一种用以处理硬盘驱动器基板的腔室，包含：界定所述腔室的内部空间的围体；在所述内部空间中设置的基板支座；面对所述基板支座的定向流气体喷嘴；面对所述基板支座的感应场源；及具有闸部件的节流阀，所述闸部件具有用以覆盖所述腔室的出口埠的密封表面。