净化半导体制程废气的合氧供热装置

摘要

本实用新型提供一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，包括罩设于处理槽顶部的头座，头座上设有废气导管与热管，该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口一特定距离，以供应热空气进入处理槽内，并增加废气与该热管产生的热源的接触时间，以净化废气中的有害物质。

主权项

净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，包括：一处理槽；一头座，罩设于该处理槽顶部，该头座上设有一个以上的废气导管及一个以上的热管；其中：该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成至少一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口。