| 发明名称 | 一种制备标准氧化钽薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及计量测试量值传递技术领域，尤其是涉及一种在金属钽片上制备纳米厚度标准氧化钽薄膜的方法。一种制备标准氧化钽薄膜的方法，它包括如下步骤：a、对金属钽片进行表面处理，b、将金属钽片作为阳极、贵金属丝作为阴极，在阳极、阴极上施加1～60V的电压置入电解液中进行阳极氧化反应0.1～12小时，c、取出并清洗金属钽片，d、放入烘箱干燥。本发明提供了一套覆盖纳米尺寸范围、具有标准厚度的氧化钽纳米薄膜，改善了当前国内纳米薄膜计量和表征缺少标准物质的现状，有效地保证纳米计量表征的量值传递，获得更为精确的薄膜厚度测量结果。 | ||
| 申请公布号 | CN102634837A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201210096962.2 | 申请日期 | 2012.04.05 |
| 申请人 | 上海市计量测试技术研究院 | 发明人 | 徐建;陆敏;朱丽娜;吴立敏;陈永康 |
| 分类号 | C25D11/26(2006.01)I | 主分类号 | C25D11/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人 | 李浩东 |
| 主权项 | 一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是它包括如下步骤：a、对金属钽片进行表面处理，b、将金属钽片作为阳极、贵金属丝作为阴极，在阳极、阴极上施加1～60V的电压置入电解液中进行阳极氧化反应0.1～12小时，c、取出并清洗金属钽片，d、放入烘箱干燥。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江张衡路1500号 | ||