一种提高光提取效率发光二极管的制作方法

摘要

一种提高光提取效率发光二极管的制作方法，涉及光电技术领域。本发明的步骤为：在蓝宝石衬底上生长的氮化镓材料的表面用光刻定义并刻蚀出N型氮化镓区域；在氮化镓材料上表面用电子束蒸发方法蒸镀具有自然粗化性质的ITO薄膜；用光刻和湿法刻蚀的方法定义出ITO电流传导区域；用等离子化学气相沉积的方法在器件表面覆盖SiO₂保护层；用光刻和湿法刻蚀的方法定义电极位置；用电子束蒸发的方法蒸镀P型和N型电极。本发明利用自然粗化ITO薄膜对光的散射性质，可以增加光子出射几率，解决由于折射率差引起的全反射损耗的问题，实现提高光提取效率的目的，从而提升芯片的质量和性能。

主权项

1. 一种提高光提取效率发光二极管的制作方法，它包括如下步骤：在蓝宝石衬底上生长的氮化镓材料（1）的表面用光刻定义并刻蚀出N型氮化镓区域（2）；在氮化镓材料（1）上表面用电子束蒸发方法蒸镀具有自然粗化性质的ITO薄膜（3）；用光刻和湿法刻蚀的方法定义出ITO电流传导区域（4）；用等离子化学气相沉积的方法在器件表面覆盖SiO₂保护层（5）；用光刻和湿法刻蚀的方法定义电极位置（6）；用电子束蒸发的方法蒸镀P型和N型的电极（7）。