超声辅助微纳压印成型装置

摘要

本发明公开了一种超声辅助微纳压印成型装置，包括分别用于安放基片和压印模具的下加热板及上加热板，下加热板和上加热板相互靠近时，压印模具作用于基片，所述的上加热板背向下加热板的一侧装有超声波振动发生装置。本发明超声辅助微纳压印成型装置由于采用了超声波振动和夹持罩，与传统的压印相比较，聚合物的流动特性得到改善，冷却收缩热应力可降至最低，使得聚合物的压印质量得到提高。另外，由于超声波的加入，整个压印过程可以直接在空气中进行，不必进行抽真空处理，这样不仅简化了机械结构，也省去了抽真空的过程，提高了压印成型的效率。

主权项

一种超声辅助微纳压印成型装置，包括分别用于安放基片和压印模具的下加热板(20)及上加热板(11)，下加热板(20)和上加热板(11)相互靠近时，压印模具作用于基片，其特征在于：所述的上加热板(11)背向下加热板(20)的一侧装有超声波振动发生装置，所述的超声波振动发生装置由超声波发生器(6)及位于其底部的超声放大器(8)构成，其中超声放大器(8)位于上加热板(11)的顶面，所述的下加热板(20)周边设有可升降的夹持罩(12)，所述的夹持罩(12)通过其驱动机构升降，其驱动机构包括固定在底座架(14)的第二扭矩电机(16)、与第二扭矩电机(16)的输出轴相连的带动齿轮(17)、与夹持罩(12)螺纹配合的螺纹杆(13)、固定在螺纹杆(13)上的齿轮(15)，其中齿轮(15)与带动齿轮(17)啮合。