计数装置、物理量传感器、计数方法以及物理量测量方法

摘要

一种张力·速度测量装置，其可以校正计数误差，包括：使半导体激光器(1)振荡的激光器驱动器(4)；计数装置(7)，其对将半导体激光器(1)的输出变换为电信号的光电二极管(2)的输出中所含有的干涉波形进行计数。计数装置(7)测定计数期间中的干涉波形的周期，基于该测定结果生成计数期间中的干涉波形的周期的频数分布，再基于该频数分布，将等级值和频数的积为最大的等级值作为干涉波形的周期的代表值T0，求出没有达到代表值T0的0.5倍的等级的频数的总和Ns、及在代表值T0的(n+0.5)倍以上且没有达到(n+1.5)倍的等级的频数的总和Nwn，并基于这些频数Ns和Nwn校正计数结果。

主权项

一种计数装置，其特定的物理量和信号的数量具有线性关系、且所述特定的物理量一定的情况下，对为大致单一频率的所述信号进行计数，其特征在于，该计数装置包括：信号计数单元，对一定的计数期间的输入信号的数量进行计数；信号周期测定单元，在每次输入信号时，对所述计数期间中的所述输入信号的周期进行测定；频数分布生成单元，基于该信号周期测定单元的测定结果来生成所述计数期间中的信号周期的频数分布；代表值算出单元，基于所述频数分布，求出等级值和频数的积为最大的等级值作为所述信号周期的代表值；和校正值算出单元，基于所述频数分布，求出没有达到所述代表值的0.5倍的等级的频数的总和Ns、以及所述代表值的(n+0.5)倍以上且没有达到(n+1.5)倍的等级的频数的总和Nwn，将所述信号计数单元的计数结果设为N，将所述代表值设为T0，将所述信号周期可取得的最大值设为Tmax时，所述校正值算出单元按照下式求出校正后的计数结果N’：数式1 N , = N - Ns + Σ n = 1 n max ( n × Nw n ) n max ≤ T max T 0 其中n是1以上的自然数。