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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 EP2026078(A4) 申请公布日期 2012.08.15
申请号 EP20070815064 申请日期 2007.06.04
申请人 NHK SPRING COMPANY LIMITED 发明人 SASAKI, SHUNSUKE;INUMA, TSUYOSHI;YAMADA, YOSHIO;NAGAYA, MITSUHIRO;AKAO, TAKASHI;NAKAYAMA, HIROSHI
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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