| 发明名称 | 旋转光刻机 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种旋转光刻机，所述旋转光刻机包括：主框架；用以承载硅片的硅片台，所述硅片台设置于所述主框架内；用以将曝光图形成像于硅片上的曝光装置，所述曝光装置与所述主框架连接；所述硅片台绕其中轴作水平旋转；所述曝光装置沿所述硅片台作水平向移动。本发明提供的旋转光刻机减小了光刻机机台尺寸，进一步的，减少了生产空间的占用，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102636961A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201110036695.5 | 申请日期 | 2011.02.12 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 袁志扬;吴小传 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种旋转光刻机，包括：主框架；用以承载硅片的硅片台，所述硅片台设置于所述主框架内；用以将曝光图形成像于硅片上的曝光装置，所述曝光装置与所述主框架连接；其特征在于，所述硅片台绕其中轴作水平旋转；所述曝光装置沿所述硅片台作水平向移动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||