发明名称 用于掠入射XAFS方法的样品台
摘要 本发明提供一种用于掠入射XAFS方法的样品台,包括由上至下依次连接的样品支架、第一角位台、第二角位台、旋转台、升降台和平移台,所述旋转台和平移台分别由与一控制系统相连的电机控制,所述旋转台和所述平移台上分别设有与所述控制系统相连的光栅尺。本发明用于掠入射XAFS方法的样品台,对样品的旋转角度和平移位置实现闭环控制,进而精确调整X射线的穿透深度,提高了表面及薄膜样品掠入射XAFS谱的采集信噪比。
申请公布号 CN102636508A 申请公布日期 2012.08.15
申请号 CN201210074161.6 申请日期 2012.03.20
申请人 中国科学院上海应用物理研究所 发明人 魏向军;李丽娜;于海生;黄宇营;姜政;高倩
分类号 G01N23/223(2006.01)I 主分类号 G01N23/223(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 邓琪
主权项 一种用于掠入射XAFS方法的样品台,包括由上至下依次连接的样品支架、第一角位台、第二角位台、旋转台、升降台和平移台,所述旋转台和平移台分别由与一控制系统相连的电机控制,其特征在于,所述旋转台和所述平移台上分别设有与所述控制系统相连的光栅尺。
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