| 发明名称 | 一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置。该装置利用一块子孔径分割光阑来形成特定的入射光束，将该入射光束投影到被检测的非球面光学元件表面上并接收、采集其反射光束所形成的图像，利用像差模式算法复原出被检测非球面光学元件表面轮廓信息或者面形误差信息。在实际检测中，只需要借助普通的辅助会聚镜头，即能对非球面光学元件表面轮廓给出定量的检测数据。相对现有的非球面检验方法，具有较好的环境适应性和很强的通用性，能够适应各种不同批次、不同参数光学非球面的检测要求。 | ||
| 申请公布号 | CN102636130A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201210115626.8 | 申请日期 | 2012.04.19 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 黄林海;王海英;周虹 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 许玉明;贾玉忠 |
| 主权项 | 一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置，其特征在于，该装置利用一个子孔径分割光阑(2)来形成特定的入射光束，将该入射光束投影到被检测的非球面光学元件(3)表面，从非球面光学元件(3)表面反射回来的光束经反射镜(4)后被漫反射屏(5)拦截，CCD(7)利用成像透镜探测漫反射屏中的光强分布(6)并将光强分布图像数据送入计算机，计算机根据子孔径分割光阑形成的特定入射光束光强的变化计算出被检测的光学元件表面轮廓。 | ||
| 地址 | 610209 四川省成都市双流350信箱 | ||