在掺杂区上方清洁和形成带负电荷的钝化层的方法

摘要

本发明大体上提供形成高效率太阳能电池组件的方法，所述方法是通过制备表面和/或在含硅基板上形成至少一部分的高质量钝化层来完成的。本发明实施例尤其有益于制备形成在硅基板上的p-型掺杂区的表面，从而可在所述表面上形成高质量钝化层。在一个实施例中，所述方法包括将太阳能电池基板的表面暴露于等离子体以清洁和改变所述表面的物理、化学和/或电气特性。

主权项

一种钝化太阳能电池基板的表面的方法，所述方法包括：将形成于基板上的p‑型掺杂区的表面暴露于第一RF等离子体，所述第一RF等离子体包括第一处理气体与第一含氟气体；将所述p‑型掺杂区的表面暴露于第二RF等离子体，所述第二RF等离子体包括卤素气体；以及在将所述表面暴露于所述第二RF等离子体的至少一部分期间，RF偏压所述基板以在所述表面上形成带负电荷层。