发明名称 一种加热腔保温系统
摘要 本实用新型涉及一种加热腔保温系统,具体地讲是涉及一种在薄膜太阳能电池生产领域的加热腔保温系统。其包括加热腔腔室、轴向加热器、玻璃传输系统、径向加热器、加热器组固定部件、加热器罩和防护板等,玻璃传输系统位于加热腔腔室底部,超白玻璃放置在玻璃传输系统上,轴向加热器、径向加热器、加热器罩和防护板通过加热器组固定部件固定在加热腔腔室顶部,还包括设置在加热器罩与加热腔腔室上腔盖之间的多层隔热板以及将多层隔热板与加热腔腔室连接固定的隔热板固定件。该系统能明显降低加热腔室热量散失,减少腔盖及其他部件带走的热量,降低生产成本;同时能实现热场均匀分布,保证镀膜厚度均匀,提高产品品质。
申请公布号 CN202380087U 申请公布日期 2012.08.15
申请号 CN201120534526.X 申请日期 2011.12.19
申请人 汉能科技有限公司 发明人 梁敏敏;祝令建
分类号 C23C16/46(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C23C16/46(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种加热腔保温系统,包括加热腔腔室、轴向加热器、玻璃传输系统、径向加热器、加热器组固定部件、加热器罩和防护板等,玻璃传输系统位于加热腔腔室底部,超白玻璃放置在玻璃传输系统上,轴向加热器、径向加热器、加热器罩和防护板通过加热器组固定部件固定在加热腔腔室顶部,其特征在于还包括设置在加热器罩与加热腔腔室上腔盖之间的多层隔热板以及将多层隔热板与加热腔腔室连接固定的隔热板固定件。
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