LED外延片非接触式测试装置

摘要

本发明涉及半导体测试领域，涉及一种半导体材料的激光激发荧光与白光反射的同步测量装置，更具体的说涉及LED外延片非接触式测试装置。本发明装置包括：在支撑板（2）上固定的光谱仪（3）、收光装置（4）、激光器安装架（5）、激光器（6）、分光镜装置（7）、滤光片装置（8）、开孔反射镜（9）、聚光装置（10）、白光源（11）、样品（12）安装架、光路安装座（13）。本发明的优点是由于采用了上述技术方案，本发明与现有技术相比，测试效率明显提高，具有良好的经济效益。

主权项

LED外延片非接触式测试装置，其特征在于，主要包括：在支撑板（2）上固定的光谱仪（3）、收光装置（4）、激光器安装架（5）、激光器（6）、分光镜装置（7）、滤光片装置（8）、中央开孔反射镜（9）、聚光装置（10）、白光源（11）、样品（12）安装架、光路安装座（13），其中，白光源（11）的出光口接光纤，光纤的另一端接滤光片装置（8）中的准直镜头，光谱仪（3）的进光口接光纤，光纤的另一端接收光装置（4）中的收光光纤固定座，激光器安装架（5）垂直固定于光路安装座之上，并保证激光光轴与分光镜的表面成45°夹角，滤光装置（8）水平固定于光路安装座（13）之上，使得从光纤进来白光的轴线经滤光片后与分光镜中心相交且与分光镜表面成45°夹角，分光镜装置（7）固定于光路安装座（13）之上，使得分光镜座的通光孔与激光器的光轴同轴，且经分光镜透射的激光和透过滤光片后再经分光镜反射的白光同时穿过中央开孔反射镜（9）的中心通光孔，聚光装置（10）安装于光路安装座（13）之上，使得垂直于聚光透镜表面的某一法线与中央开孔反射镜的中央孔轴线重合，中央开孔反射镜（9）位于分光镜装置（7）和聚光透镜装置（10）之间，透过分光镜的激光轴线及被分光镜反射的白光轴线与中央开孔反射镜表面成45°夹角，且二者交于中央开孔反射镜装置的开孔处，收光装置（4）固定于光路安装座（13）之上，使得收光装置位于与中央开孔反射镜表面成45°的某一轴线上。