二氧化钛多孔薄膜的制备方法

摘要

本发明公开的二氧化钛多孔薄膜制备方法，采用的是磁控溅射法，在清洁后的基材上以3种不同方式溅射金属钛靶和锌靶，方式1先生长氧化锌薄膜再生长氧化钛薄膜；方式2同时生长氧化锌和氧化钛薄膜；方式3先同时生长氧化锌和氧化钛薄膜，后生长氧化钛薄膜。本发明制备工艺简单，制得的二氧化钛多孔膜分布均匀、厚度可控、表面积大、附着力强、不开裂，在大规模工业化生产中更容易控制产品的质量，并降低综合生产成本；利用此3种方式制备得到的二氧化钛多孔膜是氧化性的二氧化钛膜，在太阳能电池领域有广泛的应用；采用磁控溅射方法制备二氧化钛多孔膜在太阳能电池制备工业上可以与导电玻璃制备联合起来，使用同一台磁控溅射仪器，进一步降低成本。

主权项

二氧化钛多孔薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)超声波条件下用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；2)磁控溅射反应室真空度抽到至少10‑3Pa，加热基材，使基材温度为20～250℃，通入反应气体，以金属锌为靶材，惰性气体为工作气体，在0.5～2.0Pa压强下，溅射生长氧化锌薄膜；然后以金属钛为靶材，在氧化锌薄膜上溅射生长氧化钛薄膜，得到锌氧化物和钛氧化物复合膜层，所说的反应气体是纯氧或空气；3)将锌氧化物和钛氧化物复合膜层在0.001～1mol/L酸液中浸泡0.5～30分钟取出，干燥，得到二氧化钛多孔膜。