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发明名称
摘要
申请公布号
JP5003743(B2)
申请公布日期
2012.08.15
申请号
JP20090241474
申请日期
2009.10.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
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