溅镀靶材检测机构

摘要

本实用新型涉及一种溅镀靶材检测机构，其主要在液体储槽上装设可三维空间移动的移动装置带动一超音波检测组件位移，另外，液体储槽中枢设多个并列的滚轴，该多个滚轴由滚轴驱动组件所驱动而同向旋转，通过利用该多个滚轴于液体储槽中承载待检溅镀靶材，为超音波检测组件进行检测，并可利用滚轴带动溅镀靶材旋转，使该溅镀靶材检测机构可以一机适于平面型、圆筒形或异型等多种不同型式的溅镀靶材检测作业。

主权项

一种溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包括：液体储槽；移动式超音波检测机组，其包括移动装置以及超音波检测组件，所述移动装置于液体储槽上，且组接所述超音波检测组件，用以驱动超音波检测组件作三维空间位移；靶材移动装置，系包括多个滚轴以及一滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转；控制器，所述控制器电连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制所述移动装置与滚轴驱动组件的工作。