一种气相沉积反应腔室门阀装置

摘要

本实用新型涉及一种气相沉积反应腔室门阀装置，具体地讲是涉及一种能够有效防止密封面和密封圈遭受破坏的气相沉积反应腔室门阀装置。其包括表面为平面的腔室侧壁、能够覆盖腔室侧壁上反应物进出口的门阀本体，门阀本体上设有用于带动门阀本体移动的气缸驱动的连杆，门阀本体上与腔室侧壁接触的一面外周边缘部分为密封圈的安装部分。本实用新型结构与清洁维护简单，有效的克服了在腔室侧壁上开槽造成的清洗维护不便且容易损伤密封圈和密封面的问题，保证了反应的稳定性，节约了维护成本。

主权项

一种气相沉积反应腔室门阀装置，包括表面为平面的腔室侧壁、能够覆盖腔室侧壁上反应物进出口的门阀本体，门阀本体上设有用于带动门阀本体移动的气缸驱动的连杆，其特征在于门阀本体上与腔室侧壁接触的一面外周边缘部分为密封圈的安装部分。