太阳能电池的制作方法以及太阳能电池

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制作方法包括以下步骤：在N型基底表面中形成N+型掺杂层；在该N+型掺杂层表面形成具有图样的薄膜；蚀刻开放区域，蚀刻深度大于该N+型掺杂层的厚度并且直至该N型基底以形成一凹槽；在凹槽表面中形成P+型掺杂区域，该P+型掺杂区域与该未经蚀刻的N+型掺杂层互不接触；去除该薄膜以得到掺杂晶片；在该掺杂晶片的背面形成涂层；在该掺杂晶片的表面形成第二钝化层；在该掺杂晶片的表面形成阳电极和阴电极；烧结该掺杂晶片，使阳电极和阴电极的金属元素和掺杂晶片共晶复合。本发明还公开了一种太阳能电池。本发明的制作方法简化了工艺步骤，无需购买光刻机，无需使用多张掩模板，不存在掩模板校准问题且降低了制作成本。

主权项

一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，其包括以下步骤：步骤S1、在N型基底表面中形成N+型掺杂层；步骤S2、在该N+型掺杂层表面形成具有图样的薄膜，其中，未被该具有图样的薄膜覆盖的区域为开放区域；步骤S3、对该开放区域进行蚀刻，蚀刻深度大于该N+型掺杂层的厚度并且直至该N型基底，以在该N型基底表面与该开放区域相对应的位置形成一凹槽；步骤S4、在N型基底的凹槽表面中形成P+型掺杂区域，其中，该P+型掺杂区域与该未经蚀刻的N+型掺杂层互不接触；步骤S5、去除该具有图样的薄膜以得到掺杂晶片；步骤S6、在该掺杂晶片的背面形成涂层，该涂层为第一钝化层和和增透膜；步骤S7、在该掺杂晶片的表面形成第二钝化层；步骤S8、在该掺杂晶片的表面形成阳电极和阴电极，其中，该阳电极形成于该P+型掺杂区域上，该阴电极形成于该未经蚀刻的N+型掺杂层上；步骤S9、烧结该掺杂晶片，使阳电极和阴电极的金属元素和掺杂晶片共晶复合，其中，所述的P型替换为N型时，N型同时替换为P型。