| 发明名称 | 一种复合式MEMS密度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种复合式MEMS密度传感器，包括驱动芯片和设置于驱动芯片上的悬臂梁芯片；所述悬臂梁芯片上布置有方形螺旋线圈和惠斯通全桥；所述驱动芯片上布置有圆形螺旋线圈；圆形螺旋线圈的中心与方形螺旋线圈的中心相对。通过施加恒定电流使圆形螺旋线圈产生驱动磁场；悬臂梁芯片置于驱动芯片产生的驱动磁场中，方形螺旋线圈通入交变电流时，悬臂梁芯片在洛仑兹力的作用下开始振动，通过检测悬臂梁芯片在不同密度液体中的谐振频率来实现密度的测量。悬臂梁芯片和驱动芯片通过硅硅键合技术封接在一起，可以有效减小传感器的封装尺寸；驱动磁场由圆形螺旋线圈通入恒定电流产生，通过改变恒定电流的大小可以快速有效地改变驱动磁场的磁感应强度。 | ||
| 申请公布号 | CN102636411A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201210126237.5 | 申请日期 | 2012.04.26 |
| 申请人 | 西安交通大学 | 发明人 | 赵立波;徐龙起;黄恩泽;张桂铭;赵玉龙;蒋庄德 |
| 分类号 | G01N9/34(2006.01)I | 主分类号 | G01N9/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 田洲 |
| 主权项 | 一种复合式MEMS密度传感器，其特征在于，包括驱动芯片(2)和设置于驱动芯片(2)上的悬臂梁芯片(1)；所述悬臂梁芯片(1)上布置有方形螺旋线圈(21)和惠斯通全桥；所述驱动芯片(2)上布置有圆形螺旋线圈(10)；圆形螺旋线圈(10)的中心与方形螺旋线圈(21)的中心相对。 | ||
| 地址 | 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 | ||