工件表面的异物研磨方法和异物研磨装置

摘要

捕捉工件表面的缺陷，生成用于修正的信息，基于该信息选择需要修正的异物，确定作为所选择的异物的中心的异物中心(Xa)，使研磨头的中心从该异物中心(Xa)向与研磨带的抽出方向相反的一侧偏移。并且，边从供给卷盘抽出并且用卷绕卷盘卷绕研磨带，边用研磨头按压供给卷盘和卷绕卷盘之间的研磨带来研磨而修正工件表面的异物。由此，即使是硬质异物、脆质异物附着于工件表面的情况，也使得质量不劣化地有效地进行研磨修正。

主权项

一种工件表面的异物研磨方法，其特征在于，边从供给卷盘抽出并且用卷绕卷盘卷绕研磨带，边用研磨头按压该供给卷盘和卷绕卷盘之间的研磨带来研磨而修正工件表面的异物，上述工件表面的异物研磨方法包括：缺陷捕捉工序，捕捉上述工件表面的缺陷，生成用于修正的信息；异物选择工序，基于上述信息选择需要修正的异物；以及位置移位工序，确定作为上述选择到的异物的中心的异物中心位置，使上述研磨头的中心从该异物中心位置向与上述研磨带的抽出方向相反的一侧偏移。