用于流体应用的微系统以及其制造方法和使用方法

摘要

用于流体应用的微系统（10，50，80）具有基质（20，51，84），所述基质具有储集件（15，52，85）、与所述储集件（15，52，85）连接的第一微通道（16，53，86）以及通过连接片（17，54，87）与所述第一微通道（16，53，86）分隔开的第二微通道（18，55，88）。所述微系统此外具有位于所述基质（20，51，84）上的弹性的薄膜（13，58，83），所述薄膜围绕所述储集件（15，52，85）具有与所述基质（20，51，84）接合的接合部并且封闭所述储集件（15，52，85）。在此，所述接合部（33，68）具有耐久的接合面（29，65，89）并且在所述连接片（17，54，87）上具有可凸裂的连接片接合面（31，66），所述连接片接合面在连接片（17，54，87）的两端连接到所述耐久的接合面（29，65，89）上。这样的微系统（10，50，80）形成了具有试剂样品的加工集成片。

主权项

用于流体应用的微系统（10，50，80），其具有基质（20，51，84）以及位于所述基质（20，51，84）上的弹性的薄膜（13，58，83），所述基质具有储集件（15，52，85）、与所述储集件（15，52，85）连通的第一微通道（16，53，86）以及通过连接片（17，54，87）与所述第一微通道（16，53，86）分隔开的第二微通道（18，55，88），所述薄膜围绕所述储集件（15，52，85）具有与所述基质（20，51，84）接合的接合部并且封闭所述储集件（15，52，85），其中所述接合部（33，68）具有耐久的接合面（29，65，89）并且在所述连接片（17，54，87）上具有可凸裂的连接片接合面（31，66），所述连接片接合面在连接片（17，54，87）的两端连接到所述耐久的接合面（29，65，89）上。