一种钢化玻璃压力传感器

摘要

本实用新型涉及一种钢化玻璃压力传感器，包括外壳（7）和弹性体（5）及测量电路，其特征在于：采用钢化玻璃作为弹性体，采用磁控溅射工艺和光刻工艺在钢化玻璃弹性体上制有四个电阻应变片，并将四个电阻应变片连接组成惠斯顿电桥。本实用新型采用钢化玻璃作为敏感元件感受被测压力的大小，利用磁控溅射和刻蚀的方法制作传感元件，这种方法制作的压力传感器与原来的压力传感器相比较，具有工艺简单、成本低、由于钢化玻璃的弹性模量低于金属材料、硅材料和陶瓷材料，因此能够制作测量微小压力的传感器，并且精度高。

主权项

一种钢化玻璃压力传感器，包括外壳（7）和弹性体（5）及测量电路，其特征在于：采用钢化玻璃作为弹性体，在钢化玻璃弹性体上采用磁控溅射工艺及光刻工艺制有四个电阻应变片，并将四个电阻应变片连接组成惠斯顿电桥。