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发明名称 Electron beam apparatus and detector arrangement
摘要
申请公布号 EP1439565(B1) 申请公布日期 2012.08.15
申请号 EP20040000137 申请日期 2004.01.07
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 STEIGERWALD, MICHAEL, DR.;PREIKSZAS,DIRK, DR.;DREXEL, VOLKER
分类号 H01J37/244;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
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