用于显示设备的阵列基板及其制造方法

摘要

用于显示设备的阵列基板，包括：具有像素部的基板；位于基板上的信号线和氧化物半导体层，氧化物半导体层的第一部分作为像素部，第二部分作为扫描线的端子部，第三部分作为信号线的端子部；位于信号线和氧化物半导体层上的绝缘层，该绝缘层具有露出扫描线的端子部、信号线的端子部、信号线和源极的接触孔；位于绝缘层上的扫描线金属层，扫描线金属层的第一部分通过接触孔连接源极和信号线，扫描线金属层的第二部分作为扫描线和栅极，扫描线与信号线交叉以限定像素部，扫描线分别连接栅极和扫描线的端子部，扫描线金属层的第三部分连接信号线和信号线的端子部；采用离子注入或退火处理的方式使露出的氧化物半导体层成为具有导体特性的透明电极。

主权项

一种用于显示设备的阵列基板，包括：具有像素部的基板；位于所述基板上的信号线和氧化物半导体层，所述氧化物半导体层的第一部分作为像素部，所述氧化物半导体层的第二部分作为扫描线的端子部，所述氧化物半导体层的第三部分作为信号线的端子部；位于所述信号线和氧化物半导体层上的绝缘层，该绝缘层具有露出所述扫描线的端子部、信号线的端子部、信号线和源极的接触孔；位于所述绝缘层上的扫描线金属层，所述扫描线金属层的第一部分通过所述接触孔连接源极和信号线，所述扫描线金属层的第二部分作为扫描线和栅极，所述扫描线与信号线交叉以限定所述像素部，所述扫描线分别连接栅极以及通过所述接触孔连接扫描线的端子部，所述扫描线金属层的第三部分通过所述接触孔连接信号线和信号线的端子部；采用离子注入或退火处理的方式使露出的氧化物半导体层成为具有导体特性的透明电极。