压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种提高掩模对位的操作性并提高对位精度、能容易且高精度地形成压电板、电极的压电振动片的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。包括：检测圆片侧标记组(71)和电极掩模侧标记组(52)的电极标记组检测工序；以及将圆片侧标记组(71)和电极掩模侧标记组(52)对位并在圆片上配置电极膜用掩模的电极掩模配置工序，圆片侧标记组(71)及电极掩模侧标记组(52)分别以彼此大小不同的标记(51a～71d)构成，将各自最小的圆片侧标记(71d)及电极掩模侧标记(52d)用作为彼此的标记对位，将除此以外的圆片侧标记(71a～71c)及电极掩模侧标记(52a～52c)利用到电极标记组检测工序中。

主权项

一种压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备压电板、和当被施加电压时使所述压电板振动的电极部，所述制造方法的特征在于，包括：外形形成工序，在对由压电材料构成的圆片的两面涂敷压电板形成用掩模材料之后，配置为形成所述压电板而准备的一对外形掩模，其后，隔着这些外形掩模照射光以形成所述压电板的外形；以及抗蚀剂图案形成工序，在对形成有所述压电板的外形形状的所述圆片涂敷电极膜掩模材料之后，配置为电极膜而准备的电极膜用掩模，然后，隔着所述电极膜用掩模照射光以形成抗蚀剂图案，所述抗蚀剂图案形成工序包括：电极标记组检测工序，检测形成在所述圆片的圆片侧标记组、和形成在所述电极膜用掩模的电极掩模侧标记组；以及电极掩模配置工序，使所述圆片侧标记组与所述电极掩模侧标记组对位，并对所述圆片配置所述电极膜用掩模，所述圆片侧标记组由大小彼此不同的至少2个圆片侧标记构成，所述电极掩模侧标记组由大小彼此不同的至少2个电极掩模侧标记构成，将各自最小的圆片侧标记及电极掩模侧标记用作为彼此的标记对位，将最小的圆片侧标记、除电极掩模侧标记以外的所有圆片侧标记、以及电极掩模侧标记，用于所述电极标记组检测工序。