具有弯曲的散斑减少元件表面的光学投影系统

摘要

在包括图像形成系统(12)、中继系统(18)、散斑减少元件(40)和投影子系统(20)的相干光投影系统中，中继系统可以具有第一f数，并且投影子系统可以具有比第一f数小的第二f数。中继系统可以具有第一焦点距离(Wa)，并且投影子系统可以具有小于第一焦点距离的第二焦点距离(Wb)。图像形成系统可以投影具有第一尺寸的初始图像，并且中间图像可以具有大于或等于第一尺寸的第二尺寸。散斑减少元件可以具有弯曲表面，中间图像经过该弯曲表面。散斑减少元件可以包括形成在其表面上的小透镜布置(44)。散斑减少元件可以在平行于散斑减少元件的光轴的方向上移动。

主权项

一种相干光投影系统，包括：相干光源系统，所述相干光源系统至少被构造成发射相干光；图像形成系统，所述图像形成系统至少被构造成以与图像数据相一致的方式与所述相干光相互作用；中继系统，所述中继系统至少被构造成根据由所述图像形成系统输出的相干光形成在中间图像平面处的中间图像，所述中间图像是空中的实际图像；位于或基本位于所述中间图像平面处的散斑减少元件，所述散斑减少元件具有弯曲表面，所述弯曲表面构造成使所述中间图像经过所述弯曲表面；运动生成系统，所述运动生成系统至少被构造成使所述散斑减少元件移动；以及投影子系统，所述投影子系统至少被构造成在所述中间图像经过所述散斑减少元件时对所述中间图像进行投影。