多窗口多波长激光器光路自动调节系统

摘要

本发明属于多波长激光器系统光路转换领域，由激光源系统、自动换镜系统、导光系统、平移台系统和控制系统组成。其特征部分自动换镜系统是由光学镜片支架、支架固定圆柱体台、步进电机、光具座和全反镜组成。光学镜片支架上由三个镜片支架杆L、M、N组成，长支架杆L和N的长度分别是短支架杆M的2倍，短支架杆M的长度等于两个相临激光输出窗口的距离，其中长杆L与短杆M的一端固定于支架固定圆柱体台上，其成长杆L与短杆M的轴线成150弧度，长杆N的中部固定与短杆M的另一端部，长杆N与短杆M轴线相互垂直。本发明针对不同的薄膜系统的划痕激光的波长及其光路系统的自动切换与选择，以得到不同波长激光在试件表面形成的冲击划痕效果。

主权项

一种多窗口多波长激光器光路自动调节系统，其特征在于：所述的多窗口多波长激光器光路自动调节系统由激光源系统、自动换镜系统、导光系统、平移台系统和控制系统组成，所述的自动换镜系统是由光学镜片支架(2)、支架固定圆柱体台(6)、步进电机(7)、光具座(8)和反射不同波长的光的全反镜组成，步进电机(7)固定在光具座(8)上，支架固定圆柱体台(6)固定于步进电机(7)上并能随步进电机(7)转动，光学镜片支架(2)固定于支架固定圆柱体台(6)上并能随支架固定圆柱体台(6)转动，光学镜片支架(2)由三个镜片支架杆(L、M、N)组成，两个长支架杆(L，N)的长度分别是短支架杆(M)的2倍，短支架杆(M)的长度等于两个相临激光输出窗口的距离，其中第一长支架杆(L)与短支架杆(M)的一端固定于支架固定圆柱体台(6)上，其中第一长支架杆(L)与短支架杆(M)的轴线的角度为150弧度，第二长支架杆(N)的中部固定于短支架杆(M)的另一端部，第二长支架杆(N)与短支架杆(M)轴线相互垂直，全反镜所反射的光的波长与激光器的波长一一对应；所述的导光系统由第一全反射镜(9)、第一镜片支架(10)、第二全反射镜(11)、第二镜片支架(12)、汇聚透镜(15)、水平一维电控平移台(16)、竖直一维电控平移台(17)和平移台支撑架(18)组成，第一全反射镜(9)通过第一镜片支架(10)直接放置在试验台上，第二全反射镜(11)固定在水平一维电控平移台(16)的工作台面上，汇聚透镜(15)固定在竖直一维电控平移台(17)的工作台面上，竖直一维电控平移台(17)整体固定在水平一维电控平移台(16)的工作台的侧边，当水平放一维电控平移台(16)的工作台作水平移动时，第二全反射镜(11)和竖直一维电控平移台(17)同时运动，保证了第二全反射镜(11)始终与汇聚透镜(15)对齐；所述的平移台系统为由二维平移台(20)组成，该二维平移台(20)直接放置在汇聚透镜(15)的正下方，通过汇聚透镜(15)的激光就会直接作用到该二维平移台(20)的工作台面上，二维平移台(20)能作X方向和Y方向的运动，运动为匀速运动、变速运动、直线插补运动或圆弧插补运动；所述的控制系统包括控制软件和工控机(21)，工控机(21)通过控制软件对激光器(1)、自动换镜系统、水平一维电控平移台(16)、竖直一维电控平移台(17)和二维平移台(20)进行控制。