| 发明名称 | 陶瓷材料、层叠体、半导体制造装置用构件及溅射靶材 | ||
| 摘要 | 本发明的陶瓷材料以镁、铝、氧及氮为主成分，主相为使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ＝47～50°的镁-铝氮氧化物相。 | ||
| 申请公布号 | CN102639464A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201180004702.1 | 申请日期 | 2011.10.11 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 |
| 分类号 | C04B35/581(2006.01)I;C04B35/04(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/581(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐申民;李晓 |
| 主权项 | 一种陶瓷材料，是以镁、铝、氧及氮为主成分的陶瓷材料，主相为使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ＝47～50°的镁‑铝氮氧化物相。 | ||
| 地址 | 日本国爱知县 | ||