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发明名称
Horizontal interconnection architecture based on carbon nanotubes
摘要
申请公布号
EP2139038(B1)
申请公布日期
2012.08.15
申请号
EP20090305329
申请日期
2009.04.17
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES
发明人
DIJON, JEAN
分类号
H01L23/532;H01L21/768
主分类号
H01L23/532
代理机构
代理人
主权项
地址
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