发明名称 致动器和驱动致动器的方法
摘要 本发明提供一种驱动致动器的方法,致动器具有第一电极、由(Bi,Na,Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极,压电体层夹在第一电极与第二电极之间,+X方向、+Y方向、+Z方向分别为[100]方向、[01-1]方向和[011]方向,压电体层优先在+Z方向取向,通过在第一电极与第二电极之间施加电位差,使致动器驱动。从而抑制致动器驱动时的不必要的变形。
申请公布号 CN102639431A 申请公布日期 2012.08.15
申请号 CN201180004826.X 申请日期 2011.06.15
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 上田路人;张替贵圣;田中良明;足立秀明;藤井映志
分类号 B81B3/00(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I 主分类号 B81B3/00(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种驱动致动器的方法,其特征在于:包括工序(a)和工序(b),所述工序(a)是准备所述致动器的工序,所述致动器具有第一电极、由(Bi,Na,Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极,所述压电体层夹在所述第一电极与所述第二电极之间,+X方向、+Y方向、+Z方向分别为[100]方向、[01-1方向]和[011]方向,所述致动器的X方向的一端部被固定,所述压电体层优先在+Z方向取向,在所述工序(b)中,在所述第一电极与所述第二电极之间施加电位差,使所述致动器的X方向的另一端部在Z方向位移。
地址 日本大阪府