一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器及其制备方法，属于气体传感器应用领域，一种新型的检测甲烷气体的方法，特点是其低廉的成本和简单的制备过程。本发明采用有机薄膜晶体管底栅底接触型结构，它包括衬底，位于衬底上的栅电极、位于栅电极上的绝缘层，位于栅极绝缘层上的源电极和漏电极，源漏电极上面为具有气体探测功能的有机层。主要用于检测环境中的甲烷。

主权项

一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器,包括玻璃衬底（1）、栅电极（2）、栅极绝缘层（3）、漏电极（4）源电极（5）、具有气体探测功能的有机层（6）组成，其特征在于：栅极绝缘层（3）位于刻蚀有栅极（2）的衬底（1）上，源电极（5）和漏电极（6）位于栅极绝缘层（3）之上，有机层（6）连接源电极（5）和漏电极（4）。