激光加工及切割系统与方法

摘要

一种激光加工系统可包含一相对侧照相机（opposite side camera），以用于自该系统的一相对侧（即与激光加工工艺相对之侧）提供工件对准。该相对侧照相机可与一空气轴承定位平台一起使用，且该平台的一部分及/或该相对侧照相机可移动，以使该相对侧照相机能够对欲对准的该工件上的一特征（feature）进行成像。相对侧对准可用于经由自一工件的一或二侧实施对准而对该工件进行背面切割及/或双侧切割。激光加工系统及方法亦可用于提供准秘密切割（quasi-stealth scribing）及多光束切割。

主权项

一种激光加工系统，包含：基座平台；至少一个空气轴承X‑Y定位平台，安装于该平台基座上；至少一个工件支撑平台，安装于该空气轴承X‑Y定位平台上，该工件支撑平台包含用以支撑工件的工件支撑表面，其中该工件支撑平台用以自加工位置线性地滑动至对准位置；至少一个激光光束递送系统，用于引导至少一个激光光束，其中该激光光束递送系统安装于该工件支撑表面的平面之上，使当该θ平台位于该加工位置时，使该激光光束引导至支撑于该工件支撑平台上的工件的一侧；以及至少一个相对侧照相机，用以产生影像数据，其中该相对侧照相机安装于该工件支撑平台上该工件支撑表面的该平面之下，使当支撑该工件的该工件支撑平台位于该对准位置时，使该相对侧照相机朝向该工件的背离该激光光束递送系统的一侧；以及运动控制系统，耦合至该相对侧照相机及该X‑Y定位平台，用于自该影像数据产生对准数据并用于因应该对准数据而控制该平台的运动。