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发明名称 METHODS FOR VISUALLY INSPECTING INTERFEROMETRIC MODULATORS FOR DEFECTS
摘要
申请公布号 KR101173595(B1) 申请公布日期 2012.08.14
申请号 KR20077009509 申请日期 2005.09.23
申请人 发明人
分类号 G02B26/00;B81B3/00;G09G3/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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