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发明名称
POLYMER, POLYMER COMPOSITION, UNDER-LAYER COMPOSITION OF RESIST, AND PATTERNING METHOD OF MATERIALS USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR101174085(B1)
申请公布日期
2012.08.14
申请号
KR20080137226
申请日期
2008.12.30
申请人
发明人
分类号
C08G61/12;C08G61/00;C08L65/00;G03F7/039
主分类号
C08G61/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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