发明名称 POLYMER, POLYMER COMPOSITION, UNDER-LAYER COMPOSITION OF RESIST, AND PATTERNING METHOD OF MATERIALS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101174085(B1) 申请公布日期 2012.08.14
申请号 KR20080137226 申请日期 2008.12.30
申请人 发明人
分类号 C08G61/12;C08G61/00;C08L65/00;G03F7/039 主分类号 C08G61/12
代理机构 代理人
主权项
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