发明名称 金属光罩
摘要 本创作为一种金属光罩,用于各式显示器或触控面板之玻璃基板的制程中,为一框体并形成有至少为一之开口单元,该框体所遮蔽之区域即制程中形成线路之处。该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面,及位置为第一表面相对面的第二表面,该第一表面为光滑面,而该第二表面上形成有至少为一之非平坦区,该非平坦区位置系邻近该开口单元,区内分布着立体的花纹,其目的为提高表面积与粗糙度,以避免表面沈积物剥离、掉落,藉此提升制程的品质,延长金属光罩的替换周期。
申请公布号 TWM435714 申请公布日期 2012.08.11
申请号 TW101207199 申请日期 2012.04.18
申请人 世禾科技股份有限公司 新竹县湖口乡大同路17之2号 发明人 陈学哲
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 洪尧顺 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项
地址 新竹县湖口乡大同路17之2号