起模顶杆驱动元件与具有该起模顶杆元件之平面直角显示器制造装置

摘要

本发明提供一种起模顶杆驱动装置与具有该装置之平面直角显示器(FPD)制造装置。该起模顶杆驱动装置能利用一电动机精确移动复数个起模顶杆，从而实现一简单之起模顶杆驱动结构与一简单之电动机控制结构。由此可允许以多种方式配置该制造装置之一腔室体下方一空间，从而降低设备成本与产品之生产成本。