金属镶嵌三闸鳍状场效电晶体

摘要

一种形成鳍式场效电晶体之方法包含下列步骤：形成鳍状物(205)；以及在邻接该鳍状物(205)的第一末端处形成源极区(210)，并在邻接该鳍状物(205)的第二末端处形成汲极区(215)。该方法进一步包含下列步骤：在该鳍状物(205)之上形成假闸极(505)；以及在该假闸极(505)的周围形成介电层(605)。该方法亦包含下列步骤：去除该假闸极(505)，以便在该介电层(605)中形成沟槽(705)；以及在该沟槽(705)中形成金属闸极(905)。