| 摘要 |
本发明减轻搬送臂之负荷而提高产量，同时以较高之位置对准精度将晶圆搬送至真空处理室。于第1搬送臂A1以及第2搬送臂A2之间，经由旋转载置台5进行晶圆之移送，对于真空处理前之晶圆W一面使上述旋转载置台5旋转，一面使用线感测器6取得晶圆W之周缘之位置资料。根据该位置资料，求出晶圆之中心与晶圆之方向之位置，根据该晶圆之方向，控制上述旋转载置台之旋转以对准该方向，并根据上述晶圆之中心位置，以于该晶圆之中心与真空处理室之晶圆载置部之中心一致的状态下，对上述晶圆载置部进行该晶圆之移送的方式控制上述第2搬送臂A2。 |
