真空镀膜装置及其中之滚轮装置

摘要

一种真空镀膜装置及用于真空镀膜装置中之滚轮装置，系能对如玻璃基板进行如镀膜制程之制程，真空镀膜装置主要包含滚轮装置以及复数个顶针；滚轮装置藉由滚轮滚动输送基板至加热器上方，再利用顶针上升高举基板离开滚轮，滚轮装置并藉由移动设备使滚轮横向移动离开该基板之输送路径，后续降下顶针会将基板放置于加热器上，而于镀膜制程开始前，覆盖设备系覆盖该等滚轮，以避免镀膜时污染滚轮，并藉顶针之设置免除载盘所需之空间与设备成本。