真空吸笔及应用其之晶圆搬运之保护方法

摘要

一种真空吸笔，系用以搬运一待取出晶圆。一储存容器包括第一容置槽及第二容置槽，第一容置槽邻接第二容置槽。待取出晶圆存放于第一容置槽中，待取出晶圆与存放于第二容置槽内之晶圆相距一间隙。真空吸笔包括一本体，本体具有一吸附表面以及一背面。吸附表面与背面相对，吸附表面与背面相距一厚度，厚度大于间隙之宽度，以避免真空吸笔伸入间隙中。