发明名称 起泡器再充填装置及方法
摘要 本发明系一种起泡器再充填装置及方法,为了使一种液体物质蒸发并将其输送至使用装置,因而设置一个起泡器,载气被输入其中。当已达到一个最低液面时,一个正确量的液体物质从一个储槽被再充填,因而设置一个中槽,其内部被充填压力达P1之一种惰气,一种惰气在高于压力P1之压力P2状况下被输入储槽内。中槽被连接于储槽,因此有一个特定量的液体物质流入中槽内,并经由一个连接管被输送至起泡器。此外,惰气在高于压力P2之压力P3状况下已先被输入连接管内。
申请公布号 TWI370181 申请公布日期 2012.08.11
申请号 TW094104580 申请日期 2005.02.17
申请人 西斯清洁系统股份有限公司 德国 发明人 克里斯多福 萧兹
分类号 C23C16/455 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人 严国杰 台北市大同区承德路1段70之1号6楼
主权项
地址 德国