具有含多个部分之视窗的研磨垫

摘要

一种研磨垫具有一不透明研磨层与一固态光传输视窗，该不透明研磨层具有一穿孔通过其间且具有一研磨表面，该固态光传输视窗位在该穿孔中。该固态光传输视窗包括一外部与一内部，该外部固定至该研磨层，该内部固定至该外部。该外部具有相对于该研磨表面内凹之一上表面，该内部具有与该研磨表面实质上共平面之一上表面。