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发明名称 Method and Apparatus for Testing Integrated Circuit
摘要
申请公布号 KR101173256(B1) 申请公布日期 2012.08.10
申请号 KR20090123016 申请日期 2009.12.11
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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